特許

J-GLOBAL ID：200903016366034608

プローブ顕微鏡およびそのプローブ顕微鏡を用いた表面性状分析方法

発明者： 杉崎 克己
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-033747
公開番号（公開出願番号）：特開2000-230933
出願日： 1999年02月12日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：

【要約】【課題】 フォースカーブを取得するに当たって、データサイズが非常に小さくなるような装置又は方法を提供することを目的とする。また更に、今まで取得できなかった情報も取得できる装置又は方法を提供することを目的とする。【解決手段】 上記課題を解決するために本発明では、プローブ5と試料2との距離を変えながらプローブ5と試料2との間に働く相互作用力を検出して、プローブ5と試料2との距離に対する相互作用力の大きさを示す検出データを取得し、試料の表面性状を得ることのできるプローブ顕微鏡において、検出データを元に得られ、検出データと少なくとも一部が近似した関数であって、プローブ-試料間の距離と相互作用力の大きさとの関数であるフィッティング関数を導出するフィッティング関数導出手段と、フィッティング関数と検出データとの差を各々のプローブと試料との距離毎に算出する算出手段と、算出されたフィッティング関数と、算出手段で算出された差を記憶する記憶部とを有した。

請求項（抜粋）：

プローブと試料との距離を変えながら前記プローブと前記試料との間に働く相互作用力を検出して、前記プローブと前記試料との距離に対する前記相互作用力の大きさを示す検出データを取得し、前記試料の表面性状を得ることのできるプローブ顕微鏡において、前記検出データを元に得られ、前記プローブ-前記試料間の距離と前記相互作用力との関数であり、少なくとも前記検出データの一部に対してフィッティングされた関数であるフィッティング関数を導出するフィッティング関数導出手段と、前記フィッティング関数と前記検出データとの差を各々の前記プローブと前記試料との距離毎に算出する算出手段と、算出された前記フィッティング関数と、前記算出手段で算出された差を記憶する記憶部とを備えることを特徴とするプローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (4件)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 W ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z

Fターム (38件)：

2F063AA43 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DA02 ,  2F063DA04 ,  2F063DB04 ,  2F063DD02 ,  2F063EA16 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063GA53 ,  2F063GA57 ,  2F063HA04 ,  2F063JA04 ,  2F063LA12 ,  2F063LA18 ,  2F063LA19 ,  2F063LA23 ,  2F063LA29 ,  2F063MA05 ,  2F069AA60 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH04 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ06 ,  2F069LL03 ,  2F069MM32 ,  2F069NN05 ,  2F069NN08 ,  2F069NN10 ,  2F069NN17 ,  2F069NN18 ,  2F069NN26 ,  2F069QQ10