研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：後呂和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-207589
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029602
出願日： 1995年07月20日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【目的】研磨機構の偏心回転に起因する装置の振動や異音の発生を防止する。【構成】回転駆動軸30には、これと一体回転する偏心軸40に研磨パッド42を取り付けてなる研磨機構39と、重心位置が回転駆動軸30の軸心に関して研磨パッド42の偏心方向とは反対側に偏心したバランサ81を取り付けた。回転駆動軸30が回転すると、研磨機構39とバランサ81が一体に偏心回転し、双方の偏心回転による遠心力が相殺される。よって、研磨機構39の偏心回転に起因して回転駆動軸30が横ブレするということがなく、回転駆動軸30の横ブレが原因となって装置が振動したり異音が発生したりすることがない。

請求項（抜粋）：

ワークを搬送するコンベアと、回転駆動軸と一体回転する偏心軸に研磨パッドを取り付けてなる研磨機構とを備え、搬送される前記ワークに対して前記研磨パッドが偏心回転することにより研磨するものにおいて、前記回転駆動軸に、その軸心に関して前記研磨機構の重心位置と反対側に偏心した位置に重心を配したバランサを一体回転可能に設けたことを特徴とする研磨装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-228563
特開平1-135460
特開平4-193471

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