特許
J-GLOBAL ID：200903016373097470
並列型分離分析装置及び分析方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柿沼 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223396
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040008
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：
【要約】【課題】 材料中の微量不純物元素を短時間で効率的に分析する分離分析装置、連続流れ分析方法、高純度タンタルまたは高純度タンタル化合物及びそれを用いて形成された高誘電体薄膜を提供する。【解決手段】 複数の分離装置を並列に接続し、並列に接続された複数の分離装置の少なくとも一つを用いて分析を行い、その他の分離装置の少なくとも一つを洗浄し、分析と洗浄を同時に行う分析方法。
請求項（抜粋）：
送液装置、分離装置、試料導入バルブ、溶液切り替えバルブ、不純物除去装置及び測定装置を備えた連続流れ分析装置において、複数の分離装置を備え、各分離装置は並列に接続されており、分離装置の少なくとも一つを分析に供し、その他の分離装置の少なくとも一つを洗浄し、分析と洗浄を同時に行うように分離装置が接続されていることを特徴とする並列型分離分析装置。
IPC (3件)：
G01N 30/46
, G01N 27/62
, G01N 30/02
G01N 30/46 E
, G01N 27/62 V
, G01N 30/02 B
