特許

J-GLOBAL ID：200903016380295902

分布センサ

発明者： 佐藤 明生 ,  片山 晶雅 ,  日比野 真吾
出願人/特許権者： 東海ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148837
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337979
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】圧力,力,荷重等の分布を高密度かつ高感度に測定することができ、しかも、製造が簡単で、製造コストを低く抑えることのできる分布センサを提供する。【解決手段】シート状の可撓性基板の両面に沿って圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極層8が複数個、任意の配置で取り付けられてなる圧電素子1と、この圧電素子1の各電極層8に接する電極部51とそこから延びる端子部52とが互いに接しないよう形成された電極フィルム5とを備え、上記圧電素子1と電極フィルム5とが積層一体化されて全体が一枚のシート状になっている。

請求項（抜粋）：

シート状の可撓性基板の片面もしくは両面に沿って圧電結晶薄膜が形成され、この圧電結晶薄膜に電極が複数個、任意の配置で取り付けられてなる圧電素子と、この圧電素子の各電極に接する電極部とそこから延びる端子部とが互いに接しないよう形成された電極フィルムとを備え、上記圧電素子と電極フィルムとが積層一体化されて全体が一枚のシート状になっていることを特徴とする分布センサ。

IPC (2件)：

G01L 5/00 101 ,  G01L 1/16

FI (2件)：

G01L 5/00 101 Z ,  G01L 1/16 B

Fターム (4件)：

2F051AA01 ,  2F051AA21 ,  2F051AB08 ,  2F051BA07