不純物ガス除去装置及びクリーンルーム装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195352
公開番号（公開出願番号）：特開2001-017818
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】不純物ガスが発生する装置自体に組み込めるようなコンパクトサイズで、廃水処理のためのランニングコストを低減する。【解決手段】冷却装置17と加湿装置18を直列に配設するという簡単な構成の不純物ガス除去装置9なので、装置のコンパクト化が可能であり、不純物ガスが発生するクリーンルーム装置1本体に組み込むことができる。

請求項（抜粋）：

不純物ガスを含有するエアから前記不純物ガスを除去する不純物ガス除去装置において、前記エアを冷却して結露させて前記結露水に前記不純物ガスを溶解させる冷却装置と、前記エアに冷水を加湿して該加湿水に前記不純物ガスを溶解させる加湿装置とを直列に配設したことを特徴とする不純物ガス除去装置。

IPC (2件)：

B01D 53/18 , B01D 53/26

FI (2件)：

B01D 53/18 Z , B01D 53/26 A

Fターム (18件)：

4D020AA10 , 4D020BA23 , 4D020BB03 , 4D020CB25 , 4D020CB33 , 4D020CC01 , 4D020CC09 , 4D020CC18 , 4D020CC21 , 4D020DB02 , 4D020DB20 , 4D052AA00 , 4D052AA09 , 4D052BA01 , 4D052BA02 , 4D052GA01 , 4D052GB02 , 4D052GB03

引用特許：

審査官引用 (5件)

エアワッシャ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-148180 出願人：三機工業株式会社, クボタ空調株式会社, 株式会社クボタ
特開昭62-172119
空気調和機
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-009969 出願人：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社

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