特許
J-GLOBAL ID：200903016385328078
逐次移動型露光装置のレベリング検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-197022
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029817
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 レベリングステージ1上に載置されたウェハ2に対してレベリング検出用光4を出射する光源3と、該光源3から出射され上記ウェハ3上で反射された該レベリング検出用光4を受光してレベリングを検出するレベリング検出器8とを有する逐次移動型露光装置のレベリング検出装置において、レベリング検出精度を高める【構成】 レベリング検出用光4のスポットサイズを変化させる絞り機構9を設ける。【効果】 1ショットで露光すべき領域の大きさに応じてレベリング検出用光4のスポットサイズを変えることにより、実際に露光すべき領域よりも広い領域に照射されたレベリング検出用光に基づいてレベリング検出を行っていたため生じていた検出精度が低下するという問題を回避することができる。
請求項（抜粋）：
レベリングステージ上に載置されたウェハに対してレベリング検出光を出射する光源と、該光源から出射され上記ウェハ上で反射された上記レベリング検出用光を受光してレベリングを検出するレベリング検出器とを有する逐次移動型露光装置のレベリング検出装置において、上記レベリング検出器により受光される上記レベリング検出用光のスポットサイズを変化させる絞り機構を設けたことを特徴とする逐次移動型露光装置のレベリング検出装置
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 515 G
, H01L 21/30 526 B
