狭帯域レーザ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-080898
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283785
出願日： 1992年04月02日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】狭帯域レーザ装置において、レーザ光の波長を高速かつ高精度に安定的に制御することができるようにする。【構成】レーザチャンバ11とグレーティング16との間に少なくとも1個のミラ15ーを、前記グレーティング16の線引き方向とビームエキスパンダ14のビームエキスパンド方向が略一致し、かつ前記グレーティング16の線引き方向と前記ビームエキスパンド方向を含む平面と前記ミラー15の入反射面が略一致するように配置するとともに、前記ミラーの角度を変化させる手段を具えた。

請求項（抜粋）：

狭帯域化素子としてビームエキスパンダとグレーティングを配置した狭帯域レーザ装置において、レーザ媒質とグレーティングとの間に少なくとも1個のミラーを、前記グレーティングの線引き方向とビームエキスパンド方向が略一致し、かつ前記グレーティングの線引き方向と前記ビームエキスパンド方向を含む平面と前記ミラーの入反射面が略一致するように配置するとともに、前記ミラーの角度を変化させる手段を具えたことを特徴とする狭帯域レーザ装置。

IPC (4件)：

H01S 3/1055 , H01L 21/027 , H01S 3/08 , H01S 3/106

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01S 3/08 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-307285
特開平4-072782
特開平3-046285

審査官引用 (3件)

特開平2-307285
特開平4-072782
特開平3-046285

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