特許

J-GLOBAL ID：200903016390303890

誘電体バリア放電ランプ、および照射装置

発明者： 森本 幸裕 ,  野澤 繁典 ,  岡本 昌士
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-217187
公開番号（公開出願番号）：特開2000-048772
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 OH基を含有した石英ガラスを光透過性部分とした誘電体バリア放電ランプ、および誘電体バリア放電ランプを光源とし、OH基を含有した石英ガラスを窓部材とした照射装置であって、石英ガラスの紫外線によるダメージを良好に抑え、かつ、十分な紫外線放射量を得ることができる構造を提供することである。【解決手段】 石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されており、この光透過性部分における非水素結合性OH基の割合が全体のOH基の0.36以下であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

石英ガラスからなる放電容器の内部に誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、この放電容器の少なくとも一部に光透過性部分が形成されている誘電体バリア放電ランプにおいて、前記光透過性部分における非水素結合性OH基の割合が、全体のOH基に対して、0.36以下であることを特徴とする誘電体バリア放電ランプ。

IPC (3件)：

H01J 65/00 ,  G21K 5/00 ,  H01J 61/30

FI (3件)：

H01J 65/00 A ,  G21K 5/00 Z ,  H01J 61/30 N