特許

J-GLOBAL ID：200903016391465710

基板のプラズマクリーニング装置

発明者： 森迫 勇 ,  岩井 哲博
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173990
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021032
出願日： 1992年07月01日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】 基板のプラズマクリーニングを行うケーシングに、迅速に基板を出し入れできるプラズマクリーニング装置。【構成】 ワイヤボンディングを行うのに先立って基板10のクリーニングを行うプラズマクリーニング装置において、基板10をコンベア41からプラズマクリーニングを行うケーシング1に移送する動作と、プラズマクリーニングが完了した基板10をケーシング1からコンベア41へ移送する動作を一動作で行える出し入れ手段31〜34を設けることにより、出し入れに要する時間を大巾に短縮する。

請求項（抜粋）：

高電圧が印加される電極を備えたケーシングと、このケーシングにプラズマ放電ガスを供給する放電ガス供給部と、このケーシングの開口部を開閉するカバー体と、このカバー体の開閉手段と、基板を搬送するコンベアと、基板を真空吸着する吸着パッドを備えこのコンベア上の基板を前記ケーシングに移送する動作とこのケーシングの基板を前記コンベア上へ移送する動作を一動作で同時に行う基板の出し入れ手段とを備えたことを特徴とする基板のプラズマクリーニング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/302 ,  H01L 21/60 301

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-107921
  
• 特開平4-123430
  
• 特開昭63-288677