特許
J-GLOBAL ID：200903016395886001
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-383915
公開番号（公開出願番号）：特開2005-144804
出願日： 2003年11月13日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】 圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができると共に振動板の変位量の低下を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】 液滴を吐出するノズル開口21に連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる圧電素子300とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、圧電素子300が、無機絶縁材料からなり圧電素子300側に形成される第1層101と、この第1層101とは異なる材料からなりその第1層101上に形成される第2層102とを少なくとも有する絶縁膜100によって覆われている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子とを具備する液体噴射ヘッドにおいて、
前記圧電素子が、無機絶縁材料からなり前記圧電素子側に形成される第1層と、該第1層とは異なる材料からなり当該第1層上に形成される第2層とを少なくとも有する絶縁膜によって覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (6件)：
B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, H01L41/08
, H01L41/09
, H02N2/00
B41J3/04 103A
, H02N2/00 B
, B41J3/04 103H
, H01L41/08 J
, H01L41/08 C
, H01L41/08 D
2C057AF65
, 2C057AG39
, 2C057AG52
, 2C057AG75
, 2C057AG93
, 2C057AP02
, 2C057AP25
, 2C057AP34
, 2C057AQ01
, 2C057AQ02
, 2C057AQ06
, 2C057BA03
, 2C057BA14
