特許
J-GLOBAL ID：200903016399660652
原子間力顕微鏡およびその走査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033096
公開番号（公開出願番号）：特開平5-231860
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】【目的】 原子間力顕微鏡とその走査方法に関するもので、特に、高アスペクト比に針状結晶の探針を有し、水平方向走査初期の摩擦力の影響を受けず、試料を精度良く測定するための原子間力顕微鏡を提供する。【構成】 針状結晶で形成された探針1を具備し、少なくとも各水平方向走査の初期に画像化しない助走区間4を設けて、ラスター走査し、前記助走区間以外の試料表面の凹凸を画像化する。
請求項（抜粋）：
試料表面を横方向に走査する位置を変えながら、前記横方向走査を繰り返すラスター走査を行う原子間力顕微鏡の走査方法において、少なくとも前記各横方向走査の初期に助走区間を設けていることを特徴とする原子間力顕微鏡の走査方法。
IPC (2件)：
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