特許
J-GLOBAL ID：200903016399722879
液晶カラーフィルタの検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-260026
公開番号（公開出願番号）：特開平8-122272
出願日： 1994年10月25日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 高精度で信頼性の高い液晶カラーフィルタの検査装置を提供する。【構成】 レーザ光を発射するレーザ光源41と、レーザ光源41から発射されたレーザ光の光路長を変化させる光路長可変手段としての一対のミラー47,48及びアクチュエータ51と、レーザ光の変位量を表示する変位量表示装置52と、レーザ光を集光して任意の位置で焦点を結合させる焦点結合手段としての集光レンズ46、レーザ光の焦点が液晶カラーフィルタ18の表面に一致したときの反射光強度が最大となる位置を検出する反射光強度検出装置53とを設ける。
請求項（抜粋）：
基板上にブラックマトリックスが形成されて該ブラックマトリックスの開口部にカラーフィルタが形成された液晶カラーフィルタの高さを測定する液晶カラーフィルタの検査装置において、レーザ光を発射するレーザ光源と、該レーザ光源から発射されたレーザ光の光路長を変化させる光路長可変手段と、該光路長可変手段による変位量を表示する変位量表示手段と、前記レーザ光源から発射されたレーザ光を集光して任意の位置で焦点を結合させる焦点結合手段と、前記レーザ光の焦点が前記液晶カラーフィルタの表面に合致したときに該レーザ光の反射光強度が最大となる位置を検出する反射光強度最大位置検出手段とを具えたことを特徴とする液晶カラーフィルタの検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01M 11/00
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
