特許

J-GLOBAL ID：200903016399875098

位置測定装置

発明者： アルフレート・アッフア
出願人/特許権者： ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-042192
公開番号（公開出願番号）：特開平8-014878
出願日： 1995年03月01日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、支持体と支持体が固定されている測定されるべき対象物との相異なる熱的特性の際に、実際上測定値の悪化の原因とならずかつ支持体が比較的応力なしにかつそれにもかかわらず安定に支承されるような、位置測定装置を創造することである。【構成】 2つの対象物の相対位置の測定のための位置測定装置にして、その際一方の対象物に、他方の対象物6に固定可能な走査装置4によって走査可能な目盛板2を備えた支持体1が固定されておりかつ支持体1と一方の対象物5との間の平面運動による長さ補償が可能である、前記位置測定装置において、支持体1と一方の対象物5との間に測定方向Xに延び、支持体1の平面運動可能な支承のための弾性接着剤層10、16が設けられていることを特徴とする前記位置測定装置。

請求項（抜粋）：

2つの対象物の相対位置の測定のための位置測定装置にして、その際一方の対象物に、他方の対象物(6)に固定可能な走査装置(4)によって走査可能な目盛板(2)を備えた支持体(1)が固定されておりかつ支持体(1)と一方の対象物(5)との間の平面運動による長さ補償が可能である、前記位置測定装置において、支持体(1)と一方の対象物(5)との間に測定方向(X)に延び、支持体(1)の平面運動の支承のための弾性接着剤層(10、16)が設けられていることを特徴とする前記位置測定装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭61-219818