特許
J-GLOBAL ID：200903016408715627
無接触保持装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-203858
公開番号（公開出願番号）：特開平5-335404
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：
【要約】【目的】 板状体を安定して、かつ流体の外部への排出を減少させて無接触状態にてて保持する。【構成】 作動面の周辺部に流体供給源に接続する流体供給口を備えたクッション室室を配設し、作動面の中央部に流体吸引源に接続する流体吸引口を設けて構成する。
請求項（抜粋）：
流体により板状体を無接触状態にて保持する装置において、保持する板状体との間に平面的な空隙を形成するための作動面を備える基体と、この作動面の周辺部に位置するように配設された上部に高圧流体供給源に接続する流体供給口を設けたポッケト状のクッション室と、前記作動面の中心部に流体吸引源に接続する流体吸引口を設けた無接触保持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 15/06
, B65G 53/00
