特許
J-GLOBAL ID:200903016411233692
可撓性支持体の表面付着物除去装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-076179
公開番号(公開出願番号):特開2000-262954
出願日: 1999年03月19日
公開日(公表日): 2000年09月26日
要約:
【要約】【課題】 耐久性に優れ安価な、より小さな付着物を取り除くことができるウエブの表面付着物除去装置を提供する。【解決手段】 本発明の可撓性支持体の表面付着物除去装置10は、溶剤Sを塗着されたウエブWに押しつけて、ウエブW表面の付着物Pを溶剤もろとも掻き落とすブレード11を備えている。ブレード11の先端部表面には、硬質カーボン膜が形成されている。
請求項(抜粋):
表面に付着物を有する可撓性支持体に、溶剤が塗布された後に押しつけて前記溶剤及び付着物を掻き落とすブレードを備えた可撓性支持体の表面付着物除去装置において、前記ブレードの、前記溶剤及び付着物を掻き落とす箇所に硬質カーボン膜を設けたことを特徴とする可撓性支持体の表面付着物除去装置。
IPC (5件):
B05C 5/02
, B05C 11/02
, B05D 1/26
, B05D 3/12
, C23C 16/26
FI (5件):
B05C 5/02
, B05C 11/02
, B05D 1/26 Z
, B05D 3/12 E
, C23C 16/26 Z
Fターム (27件):
4D075AC02
, 4D075AC53
, 4D075AC86
, 4D075CA48
, 4D075DA04
, 4D075DB48
, 4D075DC27
, 4D075EA02
, 4D075EA05
, 4D075EC30
, 4F041AA12
, 4F041AB01
, 4F041BA05
, 4F041BA17
, 4F041BA56
, 4F041CA02
, 4F041CA12
, 4F041CA22
, 4F042AA22
, 4F042DD07
, 4K030AA09
, 4K030AA16
, 4K030BA27
, 4K030BA28
, 4K030DA04
, 4K030FA02
, 4K030LA23
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