特許
J-GLOBAL ID:200903016416173809

静圧気体軸受

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井ノ口 壽
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-260744
公開番号(公開出願番号):特開2003-074555
出願日: 2001年08月30日
公開日(公表日): 2003年03月12日
要約:
【要約】【課題】 従来の円形スロット絞り軸受に比較し、スロット部の加工が容易で、軸受剛性および負荷容量が向上し、気体流量を大幅に減少させることができる静圧気体軸受を提供する。【解決手段】 軸受部材25の両端面に放射方向に向けて多数のスロット21を形成する。両端面にスロット側板16を固定して組み立てられた軸受ハウジング22をケーシング20に収容し、軸受ハウジング22の内径より僅かに小さい外径の軸17を挿通する。気体供給口19より給気し、円周溝,給気導入通路を介して多数のスロット21に気体を流入させる。軸17と軸受ハウジング22の内周面の間のラジアル軸受隙間に気体が流入し軸17は回転可能に支持される。各スロットから軸に向けて気体が供給されるため、軸受剛性,負荷容量が増加し、軸受流量は減少する。
請求項(抜粋):
軸との間に隙間を設け、この部分に外部より加圧した気体を絞りを通して導くことにより前記軸を回転可能に支持するスロット絞り形の静圧気体軸受において、外部気体の給気導入通路を有し、端面に放射方向に溝を多数設けた円筒形の軸受部材と、前記軸受部材の端面に側面を押し当てることにより前記軸受部材の間で多数の放射方向のスロットを形成するスロット側板と、前記軸受部材を収容し、前記給気導入通路に連接される給気口を有するケーシング部材とからなり、前記軸受部材に挿通される前記軸の外周面に対し多数の前記放射方向のスロットから気体を流入させることにより流入気体の絞り効果を増大させたことを特徴とする静圧気体軸受。
Fターム (7件):
3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102CA09 ,  3J102EA02 ,  3J102EA14 ,  3J102EA17 ,  3J102GA07
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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