特許

J-GLOBAL ID：200903016416319838

ポジ型感光性組成物

発明者： 因埜 紀文 ,  藤田 和男
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114305
公開番号（公開出願番号）：特開平6-324495
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月25日
要約：

【要約】【目的】 光照射後の加熱処理を必要とせず、種々のアルカリ及び溶剤含有水溶液の現像により鮮明な画像形成が可能なポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 (a)活性光線又は放射線により分解してアリールカチオンを発生する下記一般式(I)で示されるジアゾニウム塩、及び、(b)ポリウレタン樹脂、ポリウレア樹脂及びポリ(ウレタン-ウレア)樹脂から選ばれた少なくとも1種の樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。(Ar -N+ ≡N)k Xk- (I)式中、Ar は芳香族系の有機残基を示し、Xk-は対アニオンを示す。kは1〜10の整数である。【効果】 露光後の加熱処理を必要とせず、鮮明なポジ画像形成が可能である。

請求項（抜粋）：

(a)活性光線又は放射線の照射により分解してアリールカチオンを発生する化合物、及び(b)ポリウレタン樹脂、ポリウレア樹脂及びポリ(ウレタン-ウレア)樹脂から選ばれた少なくとも1種の樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/016 501 ,  G03F 7/035 ,  H01L 21/027