特許

J-GLOBAL ID：200903016422143156

静電容量式センサの診断装置および方法

発明者： 海陸 力 ,  中村 泰博 ,  中須賀 正樹 ,  斉藤 博幸 ,  谷内 忠司
出願人/特許権者： 大阪瓦斯株式会社 ,  株式会社センサー技術研究所
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-302843
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142093
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】 静電容量式センサの自己診断を簡易な操作で高精度で行うこと。【解決手段】 加速度および傾き角度などを測定するための導電性単結晶シリコンから成る片持ち支持された振り子の変位方向両側に一対の対向電極を配置してセンサ素子を構成し、その振り子と対向電極との間の静電容量を検出して、加速度および傾き角度などを測定する。診断時には、約2〜約400Hzの発振出力を一方の対向電極に与えるとともに、その発振出力の反転した180度の位相差を有する反転出力を他方の対向電極に与え、容量検出手段から得られる静電容量に対応した電圧を検出する。

請求項（抜粋）：

(a)センサ素子であって、片持ち支持され、弾性を有してたわむ導電性振り子と、振り子の変位方向両側に隔てて配置される一対の対向電極とを有するセンサ素子と、(b)振り子と各対向電極との間の静電容量を検出する容量検出手段と、(c)予め定める周波数の出力を導出して一方の対向電極に与える発振回路と、(d)発振出力を反転して他方の対向電極に与える反転回路と、(e)各対向電極への発振出力および反転出力を供給/遮断するスイッチング手段とを含むことを特徴とする静電容量式センサの診断装置。

IPC (3件)：

G01L 25/00 ,  G01L 1/14 ,  G01R 27/26

FI (3件)：

G01L 25/00 Z ,  G01L 1/14 A ,  G01R 27/26 C