特許
J-GLOBAL ID:200903016429515229

切粉除去装置及び切粉除去方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-234411
公開番号(公開出願番号):特開平7-088765
出願日: 1993年09月21日
公開日(公表日): 1995年04月04日
要約:
【要約】【目的】 環境に害を与えずにワークの切粉を確実かつ迅速に除去する。【構成】 光ディスク4の穴あけ工程が終了した後、光ディスク4を吸塵ヘッド50及びイオン発生ノズル60の下方に設置する。吸塵ヘッド50及びノズル60を一体的に下降して光ディスク4に対向させる。光ディスク4を矢印c方向に回転させる。ノズル60からイオンを光ディスク4に与えて静電気を除去しながら吸塵ヘッド50で光ディスク4に付着した切粉を吸い取り、切粉の除去を行う。この後、光ディスク4を温純水洗浄工程に運ぶ。
請求項(抜粋):
ワークを加工することにより発生する切粉を除去する切粉除去装置において、ワークを設置するテーブルと、ワークの静電気を除去するイオンを発生する静電除去装置に連結され、前記ワークに対向して配置され、前記ワークに静電除去装置からのイオンを与えるイオン発生ノズルと、ワークに付着した切粉を吸い込む吸塵装置に連結され、テーブル上のワークに対向して配置され、ワークの切粉を前記吸塵装置に導く吸塵ヘッドとを具備し、ワークの静電気を除去しながら吸塵を行うことによりワークの切粉を除去することを特徴とする切粉除去装置。
IPC (2件):
B24B 55/06 ,  G11B 7/26 521

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