特許

J-GLOBAL ID：200903016430631410

露光装置

発明者： 高橋 徳男
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-203221
公開番号（公開出願番号）：特開2002-023378
出願日： 2000年07月05日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】 フォトエッチング法によるリードフレーム作製における加工基材製版用の露光装置で、原版の作製が短時間ででき、トータル的に設備費、材料費を低コスト化でき、原版の保管、管理を必要とせず、且つ、製品に対応した原版の交換を迅速に行なうことができる、露光装置を提供する。【解決手段】 被露光基材に原版を縮小投影する露光装置であって、原版を照明する露光用照明部と、原版のパタンを被露光基材に縮小投影するための縮小投影用レンズ系とを備えたもので、且つ、原版がパタンを表示した液晶パネルである。

請求項（抜粋）：

被露光基材に原版のパタンを縮小投影する露光装置であって、原版を照明する露光用照明部と、原版のパタンを被露光基材に縮小投影するための縮小投影用レンズ系とを備えたもので、且つ、原版がパタンを表示した液晶パネルであることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 23/50

FI (2件)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 23/50 A

Fターム (7件)：

2H097AA07 ,  2H097CA07 ,  2H097GB01 ,  2H097JA02 ,  2H097LA10 ,  2H097LA20 ,  5F067DA16