特許
J-GLOBAL ID:200903016435519414

高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法及び溶出低減装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 内山 充
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-031826
公開番号(公開出願番号):特開2003-230821
出願日: 2002年02月08日
公開日(公表日): 2003年08月19日
要約:
【要約】【課題】半導体、液晶などの電子部品製造工場、医薬用水、原子力発電所などで広く使用されている高純度水中への長鎖アミンの溶出を効果的に低減し、純度の極めて高い高純度水を供給することができる高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法及び溶出低減装置を提供する。【解決手段】分離膜を用いた高純度水製造装置からの高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法であって、洗浄水で予め分離膜を洗浄して、分離膜に含まれる長鎖アミンを除去する高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法、並びに、洗浄によって分離膜に含まれる長鎖アミンを除去する装置であって、洗浄水を貯めておくタンクと;その洗浄水をタンクから送出させる手段と;分離膜を配置する分離膜洗浄部と;分離膜の洗浄後の洗浄水をタンクに戻す手段と;そして、分離膜から洗浄中に溶出した長鎖アミンを除去または分解する手段を有する高純度水中への長鎖アミンの溶出低減装置。
請求項(抜粋):
分離膜を用いた高純度水製造装置からの高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法であって、洗浄水で予め分離膜を洗浄して、分離膜に含まれる長鎖アミンを除去することを特徴とする高純度水中への長鎖アミンの溶出低減方法。
IPC (5件):
B01D 65/02 ,  B01J 35/02 ,  B08B 3/08 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/72 101
FI (5件):
B01D 65/02 ,  B01J 35/02 J ,  B08B 3/08 Z ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/72 101
Fターム (52件):
3B201AA47 ,  3B201BB62 ,  3B201BB82 ,  3B201BB90 ,  3B201BB95 ,  3B201CD21 ,  3B201CD22 ,  4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006GA25 ,  4D006KC02 ,  4D006KC03 ,  4D006KC15 ,  4D006KC16 ,  4D006KC20 ,  4D006KD28 ,  4D006KD29 ,  4D006MA01 ,  4D006MA02 ,  4D006MA03 ,  4D006MA04 ,  4D006MC16 ,  4D006MC39 ,  4D006MC54 ,  4D006MC61 ,  4D006PA01 ,  4D006PB02 ,  4D006PC01 ,  4D006PC32 ,  4D006PC42 ,  4D037AA08 ,  4D037AB12 ,  4D037BA18 ,  4D037BB06 ,  4D037CA03 ,  4D037CA11 ,  4D050AA08 ,  4D050AB17 ,  4D050BB01 ,  4D050BC04 ,  4D050BD02 ,  4D050BD06 ,  4D050CA01 ,  4D050CA07 ,  4D050CA09 ,  4G069BA04B ,  4G069BA48A ,  4G069BC35B ,  4G069CA05 ,  4G069CA10 ,  4G069CA11
引用特許:
審査官引用 (3件)

前のページに戻る