特許

J-GLOBAL ID：200903016439981520

圧電素子

発明者： 中山 雅夫
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄 ,  伊奈 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-067775
公開番号（公開出願番号）：特開2007-250572
出願日： 2006年03月13日
公開日（公表日）： 2007年09月27日
要約：

【課題】良好な圧電特性を有する圧電素子を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子100は,基体1と、基体1の上方に形成された下部電極4と、下部電極4の上方に形成された圧電体層5と、圧電体層5の上方に形成された上部電極6と、少なくとも圧電体層5を被覆する保護層12と、保護層12を被覆するバリア層14と、を含み、バリア層14のヤング率は、保護層12のヤング率よりも大きく、バリア層14は、平面視において,上部電極6のうちの少なくとも一部とは重ならない。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体と、 前記基体の上方に形成された下部電極と、 前記下部電極の上方に形成された圧電体層と、 前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、 少なくとも前記圧電体層を被覆する保護層と、 前記保護層を被覆するバリア層と、を含み、 前記バリア層のヤング率は、前記保護層のヤング率よりも大きく、 前記バリア層は、平面視において、前記上部電極のうちの少なくとも一部とは重ならない、圧電素子。

IPC (3件)：

H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101J ,  H01L41/22 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-425605   出願人：セイコーエプソン株式会社