静電容量式圧力センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-089310
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285714
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】本発明は、湿度の影響をほとんど受けない圧力センサを提供することを目的とする。【構成】表面に第一の電極4が形成された電気絶縁性弾性材料からなるダイアフラム1と、第二の電極5が表面に形成された電気絶縁性材料からなる固定基板2と、前記第一の電極4と前記第二の電極5とが対向配置し前記電極の外周部で前記ダイアフラム1と前記固定基板2とを接着する接着層3と、前記ダイアフラム1と前記固定基板2と前記接着層3の外表面に防水層6からなる構成とした。

請求項（抜粋）：

表面に第一の電極が形成されたダイアフラムと、第二の電極が表面に形成された固定基板と、前記第一の電極と前記第二の電極とが対向配置し前記電極の外周部で前記ダイアフラムと前記固定基板とを一定間隔に保持し接着する接着層と、前記ダイアフラムと前記固定基板と前記接着層の少なくとも外表面に防水層を設ける構成とした静電容量式圧力センサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭59-198333
特開昭59-198333

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