特許

J-GLOBAL ID：200903016447920637

金属蒸気レーザ装置

発明者： 水船 栄作 ,  大橋 常良 ,  白倉 利治 ,  和田 昭 ,  竹森 聖
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-191872
公開番号（公開出願番号）：特開平6-037406
出願日： 1992年07月20日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、金属蒸気の消耗が大幅に低減され、長時間運転が可能なことは勿論、高出力で、かつ、高効率なレーザ発信ができる金属蒸気レーザ装置を提供することにある。【構成】本発明は、ガス中の放電エネルギーにより金属源9を加熱・蒸発させて金属蒸気を発生させ、その金属蒸気から成るレーザ媒質を形成させる放電管1の外周に同軸状に設けられた断熱部材2が、前記放電管1内中央部の管壁温度12が極小となり、かつ、放電管中央部と放電管端部の間の管壁温度12が極大となる双峰特性の放電管内管壁温度分布を形成する断熱特性を具備するように、放電管1の軸方向中央部に位置する耐熱断熱部材2の厚みをその端部の厚みより薄くしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ガス中の放電エネルギーにより金属源を加熱・蒸発させて金属蒸気を発生させ、その金属蒸気から成るレーザ媒質を形成させる放電管と、該放電管の外周に同軸状に設けられた断熱部材と、該断熱部材の外周に同軸状に設けられ、真空断熱層を形成する金属製レーザ管とを備えた金属蒸気レーザ装置において、前記断熱部材は、前記放電管内中央部の管壁温度が極小となり、かつ、放電管中央部と放電管端部の間の管壁温度が極大となる双峰特性の放電管内管壁温度分布を形成する断熱特性を具備していることを特徴とする金属蒸気レーザ装置。