特許

J-GLOBAL ID：200903016449149938

熱光学チャック

発明者： スコット ランバウ
出願人/特許権者： カスケード マイクロテック インコーポレイテッド
代理人 (6件)： 杉村 憲司 ,  鈴木 一寿 ,  杉村 興作 ,  藤谷 史朗 ,  来間 清志 ,  箱守 英史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-527287
公開番号（公開出願番号）：特表2008-502167
出願日： 2005年05月06日
公開日（公表日）： 2008年01月24日
要約：

プローブステーションに装置を支持するように構成した透過板上に堆積した透過レジスタを有する熱光学チャックにより、試験中の加熱可能な装置の下面にアクセス可能な光路を提供する。

請求項（抜粋）：

プローブステーションに試験中の装置を支持するための熱光学チャックにおいて、 (a)端部と、前記試験中の装置を支持する第1表面と、その反対側にある第2表面とを有する透過板と、 (b)前記透過板の前記第1表面及び前記第2表面の少なくとも一方の領域に堆積されている、抵抗を有する透明導電体と、 (c)前記透明導電体と導電的に接触しており、電流源に接続可能である第1バスバーと、 (d)前記透明導電体と導電的に接触しており、電流源に接続可能な第2バスバーであって、前記第1バスバーから離間されている当該第2バスバーと を有する熱光学チャック。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/683

FI (4件)：

H01L21/66 H ,  H01L21/66 X ,  H01L21/68 N ,  H01L21/68 P

Fターム (19件)：

4M106AA01 ,  4M106AB09 ,  4M106BA01 ,  4M106CA60 ,  4M106DD08 ,  4M106DH44 ,  4M106DJ02 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA09 ,  5F031HA13 ,  5F031HA24 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031HA37 ,  5F031HA53 ,  5F031JA02 ,  5F031JA07 ,  5F031MA33