特許

J-GLOBAL ID：200903016458570115

スパッタ装置用電源アダプタ及びその制御方法

発明者： 松沢 玲治
出願人/特許権者： 株式会社ランドマークテクノロジー
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-177629
公開番号（公開出願番号）：特開2005-008980
出願日： 2003年06月23日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】精密な膜圧管理のできるスパッタ装置用電源アダプタ及びその制御方法を提供する。【解決手段】スパッタ装置2と電源3の間に介在して電力の供給をON/OFF制御するように、印加電圧値をデジタル変換して電圧情報を生成する電圧AD変換器と、流入電流値をデジタル変換して電流情報を生成する電流AD変換器と、それぞれデジタル出力された電圧情報及び電流情報を用いて投入電力を積算する電力積算手段と、目標エネルギー設定手段と、設定値を閾値として保存する設定値保存手段と、閾値に対する前記投入電力を微小時間ごとに区切って比較する電力比較手段と、比較結果に基づいて電源3に対して電力供給をON/OFF制御する電源制御部20と、を備えた。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

直流を供給する電源(3)とスパッタ装置(2)の間に介在して電力の供給をON/OFF制御するスパッタ装置用電源アダプタ(1)であって、 前記スパッタ装置(2)への印加電圧値を測定する電圧測定手段(29)と、 前記電圧測定手段(29)の測定した印加電圧値をデジタル変換して電圧情報を生成する電圧AD変換器(35)と、 前記電源(3)から前記スパッタ装置(2)に流入する流入電流値を測定する電流測定手段(30)と、 前記電流測定手段(30)の測定した流入電流値をデジタル変換して電流情報を生成する電流AD変換器(33)と、 前記電圧AD変換器(35)及び前記電流AD変換器(33)からそれぞれ出力された電圧情報及び電流情報を用いて投入電力を積算する電力積算手段(13)と、 制御目標とする積算電力値を設定可能な目標エネルギー設定手段(18)と、 前記目標エネルギー設定手段(18)による設定値を閾値として保存する設定値保存手段(17)と、 前記閾値に対する前記投入電力を微小時間ごとに区切って比較する電力比較手段(14)と、 前記電力比較手段(14)の比較結果に基づいて前記電源(3)に対してON/OFF制御する電源制御信号を出力する電源制御部(20)と、を備えたことを特徴とするスパッタ装置用電源アダプタ。

IPC (1件)：

C23C14/34

FI (1件)：

C23C14/34 U

Fターム (5件)：

4K029BD00 ,  4K029DC00 ,  4K029DC33 ,  4K029EA00 ,  4K029EA09