液晶表示装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-035236
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235360
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【構成】 TFTのソ-スと導通接続しているデ-タ線と、ドレイン及び画素電極と導通接続している積み上げ電極層を、ITOとの接続抵抗が低くかつITOのエッチング液に溶解しないコンタクトメタル材料を用い、多層構造とすることを特徴とする。【効果】画素電極ITOと積み上げ電極層との接続抵抗をコンタクトメタルを使用することによって低減させることができ、またデ-タ線が絶縁膜によって埋め込まれているためデ-タ線の電界の影響を緩和することが可能なため表示品質を向上させることができる。更にデ-タ線の断線もコンタクトメタルによって防止されるため歩留りが向上する。

請求項（抜粋）：

透明な絶縁基板の表面側に形成されたマトリクスアレイが、薄膜トランジスタのソ-スに下層側層間絶縁膜の第1の接続孔を介して導通接続する第1のデ-タ線およびこの第1のデ-タ線表面に導通接続して多重配線構造を構成する第2のデ-タ線と、前記薄膜トランジスタのドレインに前記下層側層間絶縁膜の第2の接続孔を介して導通接続しており、導電性のある第1の積み上げ電極層及びこの第1の積み上げ電極層表面に導通接続して多重配線構造を構成する第2の積み上げ電極層と、この積み上げ電極層に上層側層間絶縁膜の接続孔を介して導通接続しており、端部が前記デ-タ線の上方に位置する画素電極と、を有することを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3件)：

H01L 29/784 , G02F 1/136 500 , H01L 27/12

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭58-088781
特開平3-012637
特開昭64-059852

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