特許
J-GLOBAL ID:200903016465592981
質量スペクトル測定用手段を含む装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡部 正夫 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-225489
公開番号(公開出願番号):特開平6-201567
出願日: 1993年09月10日
公開日(公表日): 1994年07月19日
要約:
【要約】【目的】 空気又はプロセス気体中の粒子を検出し、計数し、大きさを識別し、化学組成を分析できる装置が、明らかにされている。【構成】 粒子は毛細管(4又は5)を通って、差動排気された容器(6)中に入る。連続的に点火されたパルスレーザー(10)の焦点を、容器の開口にあわせる。粒子がレーザービームの経路中に入った時、粒子は断片にされ、イオン化される。
請求項(抜粋):
a) 排気可能な容器(6)b) 粒子を含む気体の試料を、前記容器に入れるための手段(3)c) 前記気体中の粒子の少くともある程度を断片にし、断片の少くともある程度をイオン化するためのレーザービームを生成し、レーザービームは前記気体が前記容器に入った時移動する経路に向けられるレーザー手段(10)d) イオン化した断片の数、イオン化した断片の質量及びイオン化した断片が運ぶイオン電荷を検出する手段(12)e) イオン化した断片の数から粒子の濃度、粒子の寸法及び化学組成を、またイオン化した断片の質量及びイオン化した断片が運ぶイオン電荷を決る手段(たとえば16、22)を含む空気又はプロセス気体中の粒子を分析するための装置(2)。
IPC (5件):
G01N 15/02
, G01N 15/10
, G01N 15/14
, G01N 27/64
, H01J 49/10
引用特許:
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