特許
J-GLOBAL ID：200903016472180605
基板交換装置及び基板交換方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-201096
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064655
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 単一のハンドによって基板の交換を行う簡単な構成で、基板の交換に要する時間を短縮して処理タクトを短縮すること。【構成】 未処理の基板20を保持したハンド30aをチャンバ11内に進入させ、この未処理の基板20をチャンバ11内に搬入するとともにこの未処理の基板20を支持ピン12に受け渡す。その後、横動ピン13に搬出待機のため一時的に支持された処理済の基板20をハンド30aに受け取らせ、ハンド30aをチャンバ11外に後退させて処理済の基板20をチャンバ11外に搬出する。したがって、処理済の基板20の搬出が可能になるまでの間にハンド30aによって未処理の基板20を前の工程からチャンバ11前まで搬送して待機させることができ、かつ、この未処理の基板20の搬入から処理終了までの間にハンド30aによって処理済の基板20を次の工程まで搬送することができる。
請求項（抜粋）：
処理室内に未処理基板を搬入するとともに処理済基板を処理室から搬出する基板交換装置において、未処理基板及び処理済基板の一方を保持しつつ処理室に対して進退自在な基板搬送手段と、処理室内において処理済基板を支持する第1の基板支持手段と、処理室内において未処理基板を支持する第2の基板支持手段と、未処理基板を保持した前記基板搬送手段を処理室内に進出させてこの未処理基板を処理室内に搬入するとともにこの未処理基板を前記第2の基板支持手段に受け渡した後、前記第1の基板支持手段に支持された処理済基板を前記基板搬送手段に受け取らせるとともに前記基板搬送手段を処理室外に後退させてこの処理済基板を処理室外に搬出する搬送制御手段と、を有することを特徴とする基板交換装置。
IPC (6件)：
H01L 21/68
, B05C 13/00
, B65G 49/07
, G02F 1/13 101
, H01L 21/02
, H05K 3/06
