可視スペクトルモジュレーターアレイ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村元彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-529030
公開番号（公開出願番号）：特表平10-500224
出願日： 1995年05月01日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】可視スペグトル光は、変調素子(501)のアレイ及びアレイに接続され素子のそれぞれを制御する制御回路を使うことによって変調され、各素子は光の特定周波数に対し所定のインピーダンス特性を示させられる表面(506)を有している。各変調素子によって与えられた光の振幅はパルス符号変調によって独立して制御される。各変調素子は引張応力下で保持される変形自在部分(508)を有し、制御回路は変形された部分の変形を制御する。各変形自在素子は変形機構と光学的部分を有し、それぞれ制御された変形特性と制御された変調特性とを独立して素子に与える。変形自在の変調素子は非金属である。素子は、最終の共振器寸法と関係がある層厚を有している犠牲層と犠牲層をそれら間にてサンドウィッチする2つの層を形成し、化学薬品(例えば、水)を使い又はプラズマに基づいた処理を行い犠牲層を除去することによって形成される。

請求項（抜粋）：

可視スペクトル中の光を変調する装置であって、変調素子のアレイと、アレイに接続され各変調素子を独立して制御する回路と、からなり、前記変調素子のそれぞれは光の特定周波数に対し所定のインピーダンス特性を示させられる表面を有していることを特徴とする装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特公平5-049238
特開平3-180890
特開昭61-088229

審査官引用 (3件)

特公平5-049238
特開平3-180890
特開昭61-088229

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