特許

J-GLOBAL ID：200903016481370891

仮想テストが可能な半導体テストシステム及びその半導体テスト方法

発明者： 尹 炳 熙 ,  徐 嗜 明 ,  卞 道 勳
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 萩原 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-161518
公開番号（公開出願番号）：特開2008-004940
出願日： 2007年06月19日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：

【課題】仮想テストが可能な半導体テストシステム及びその半導体テスト方法を提供する。【解決手段】本発明はプローバと接続せずに仮想テスト動作を実行する半導体テストシステム及びその半導体テスト方法に関する。半導体テストシステムはテスト信号を提供するテスタと、テスト信号に応答して仮想テスト結果をテスタに提供するエミュレータとを含む。エミュレータは仮想テスト結果を得るために仮想プローバソフトウエアを含む。本発明による半導体テストシステムはプローバが設置されていない場合にもプローバが設置されている場合と同様に仮想テスト結果を出力する。本発明によれば、テスタまたはテストプログラム開発時に、プローバをセットアップしなければならないという問題を解消することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

プローバと接続せずに仮想テスト動作を実行する半導体テストシステムにおいて、 テスト信号を提供するテスタと、 前記テスト信号に応答して仮想テスト結果を前記テスタに提供するエミュレータとを含み、 前記エミュレータは前記仮想テスト結果を得るために仮想プローバソフトウエアを含むことを特徴とする半導体テストシステム。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/28

FI (2件)：

H01L21/66 B ,  G01R31/28 H

Fターム (9件)：

2G132AA00 ,  2G132AE23 ,  2G132AL38 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ39