特許

J-GLOBAL ID：200903016482422313

フリクション・フォース・プローブ顕微鏡およびフリクション・フォース・プローブ顕微鏡を用いた原子種や材料の同定方法

発明者： 山本 伸一
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-306879
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142105
出願日： 1997年11月10日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 1個の原子やナノメートルオーダーからマイクロメートルオーダーまでに関する探針-試料間相互作用の摩擦力を測定し、これらの多くの情報により原子種や材料の同定をする。【解決手段】 試料4-探針10先端間の力を任意の値に制御するための磁場制御機構12を有し、カンチレバー5の横方向のねじれをフィードバック制御し、かつ微小振動させることにより、剪断応力を求めたり材料識別することができる。

請求項（抜粋）：

磁性体を有する探針付きカンチレバーと、試料の位置を制御するための円筒型位置制御機構と、前記カンチレバーの撓み量を計測するための微小変位計測機構と、前記カンチレバーの撓みまたは試料-探針間の距離を任意に制御するための磁場制御機構とを有し、前記カンチレバー先端に具備された前記磁性体が長手方向に対して垂直方向に磁極がそろえられていることを特徴とするフリクション・フォース・プローブ顕微鏡。