特許
J-GLOBAL ID:200903016489332352
表面検査用光源装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小林 和憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-072610
公開番号(公開出願番号):特開平8-271432
出願日: 1995年03月30日
公開日(公表日): 1996年10月18日
要約:
【要約】【目的】 棒状の光源を覆う筒体の形状を工夫して、光源を被検査体表面に近づけずに被検査体表面の必要な個所を効率よく照明する。【構成】 光源装置4は、棒状の蛍光灯10とそれを覆う筒体11とで構成されている。蛍光灯10の軸方向の前後には筒体11の側板13,14が設けられている。この側板13,14は、照明光の射出方向に向かって延長され、先端側に向かって互いに接近するように傾斜して、その先端でスリット開口17を形成している。筒体11を先細形状にしているので、リニアイメージセンサ5の視野範囲5aを広い角度からとることができる。スリット開口17を被検査体3の表面に近づけて形成しているので、照明光を被検査体表面の必要な個所に効率良く照明することができる。
請求項(抜粋):
細長の光源と、この光源をその外径に倣って覆うとともに前記光源の長手方向に沿って帯状の照明光を射出させるスリット開口を形成した筒体とからなる表面検査用光源装置において、前記筒体は、光源の長手方向に沿い照明光の射出方向に向かって延びた一対の側板を有し、これらの側板は先端側で互いに接近するように傾斜してその先端で前記スリット開口を形成するとともに、筒体の内壁には高反射材料が塗布されていることを特徴とする表面検査用光源装置。
IPC (5件):
G01N 21/84
, G01N 21/88
, G01N 21/89
, G06T 1/00
, H04N 1/04 101
FI (5件):
G01N 21/84 E
, G01N 21/88 J
, G01N 21/89 A
, H04N 1/04 101
, G06F 15/64 320 F
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