特許

J-GLOBAL ID：200903016495228885

耐食性磁性膜用ターゲットおよびこれを用いた磁気ヘッド

発明者： 中村 斉 ,  大友 茂一 ,  小礒 良嗣
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-175238
公開番号（公開出願番号）：特開平6-017244
出願日： 1992年07月02日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：

【要約】【目的】磁気ディスク装置やデジタルVTRなどに用いられる磁気ヘッドや磁気ヘッドのコア材に適した低磁歪、高飽和磁束密度で良好な軟磁気特性を有し、しかも耐食性に優れた強磁性膜を形成するためのスパッタ用ターゲットに関する。【構成】(Fe,Co)LM(N,C)合金(但し、LはHf、Zr、Ta、Nb、W、Mo、Tiより選ばれる元素、MはCr,Rh,Ruより選ばれる元素、Nは窒素、Cは炭素)にSm、Nd等の希土類元素を添加した強磁性膜を形成するためのスパッタ用ターゲット。【効果】本発明のターゲットを用いることにより、低磁歪、高飽和磁束密度で良好な軟磁気特性を有し、しかも優れた耐食性を有する強磁性膜が得られた。また、本発明のターゲットを用いて形成した強磁性膜をコア材に用いた磁気ヘッドでは再生出力が高く、しかも長時間安定な再生出力が得られた。

請求項（抜粋）：

Hf、Zr、Ta、Nb、W、Mo、Tiより選ばれる少なくとも一種以上の元素とC、Nより選ばれる少なくとも一種以上の元素、さらにCr,Rh,Ruより選ばれる少なくとも一種以上の元素を含むFeあるいはCoを主成分とする強磁性金属合金に少なくとも一種以上の希土類元素を添加したことを特徴とする耐食性磁性膜用ターゲット。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  G11B 5/31