特許

J-GLOBAL ID：200903016495583901

機械式インターフエース装置

発明者： 河野 等 ,  奥野 敦 ,  津田 正徳 ,  林 満弘 ,  山下 哲平 ,  村田 正直 ,  田中 幹 ,  森田 日也
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269776
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109862
出願日： 1991年10月17日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 本体ケースのポートまわりにロック機構等を設けることなく、簡便な手段で、ポッドと装置本体間のシール性を確実に向上することができる機械式インターフェース装置を提供することを目的とする。【構成】 装置ケース1に設けられ被処理物の搬入・搬出用ポート4を形成するポートプレート3上に載置されて前記ポートを覆う開口フランジ12付ポッド10、このポッドの開口11を閉鎖可能なポッドドア21、前記本体ケース1内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレート3に係合して前記ポートを閉鎖するポートドア31、および上記ポッドのフランジ12を上記ポートプレート3に向けて付勢する手段とを備え、このポートドア31が上記ポッドドア21を上記ポッド内から本体ケース1内へまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記付勢する手段が、上記ポッドの上面に下降駆動されて当該ポッドを押圧可能なパッド54と、このパッド54を上下動させる昇降駆動機構からなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

装置ケースに設けられ被処理物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、このポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合して前記ポートを閉鎖するポートドア、および上記ポッドを上記ポートプレートに向けて付勢する手段とを備え、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記付勢する手段が、上記ポッドの上面に下降駆動されて当該ポッドを押圧可能なパッドと、このパッドを上下動させる昇降駆動機構からなることを特徴とする機械式インターフェース装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02