特許

J-GLOBAL ID：200903016497293587

二次イオン質量分析計

発明者： 金子 一彦 ,  林 英明 ,  長井 一敏
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-081410
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251039
出願日： 1992年03月04日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 高速ビーム線を試料に照射することによって生じる正負両電荷の混在した二次イオンより、正負のイオンを分離して同時に検出し分析することのできる二次イオン質量分析計を提供する。【構成】 高速原子ビームあるいは高速イオンビーム(9)を試料(3)に照射し、該試料(3)から放出する二次イオン(10)を四重極型質量分離器(4)によって分離し、同定する二次イオン質量分析計において、前記四重極型質量分離器(14)の後段に設置されるイオン検出部は、互いに平行に配された4本の金属製円柱電極群(11a,11b,11c,11d)と、該金属製円柱電極群を取り囲む静電シールド(12)と、2個の二次電子増倍管あるいは2個のファラデーカップ(5)から構成されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

高速原子ビームあるいは高速イオンビームからなる一次ビームを試料に照射し、該試料から放出する二次イオンを四重極型質量分離器によって分離し、同定する二次イオン質量分析計において、前記四重極型質量分離器の後段には、イオン検出部が設置され、該イオン検出部は、互いに平行に配された4本の金属製円柱電極群と、該金属製円柱電極群を取り囲む静電シールド壁面と、2組の二次電子増倍管あるいは2組のファラデーカップとから構成され、前記4本の金属製円柱電極で構成される電極群の横断面は、各電極が矩形の頂点に位置するように配置され、かつ相隣る2本の金属製円柱電極が張る4面の平面の内、前記四重極型質量分離器に対向する静電シールド壁面にイオン入射孔を有し、かつ該イオン入射孔に直交する2面に対向する静電シールド壁面にはイオン出射孔を有し、かつ2個の該イオン出射孔のそれぞれに対向して設置された2個の二次電子増倍管あるいは2個のファラデーカップから成り、前記4本の金属製円柱電極の内、対角線上の2本に正電位、他の対角線上の2本に負電位が与えられることを特徴とする二次イオン質量分析計。

IPC (2件)：

H01J 49/26 ,  G01N 23/225

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-031935
  
• 特開昭51-141688
  
• 特開平1-313847