特許

J-GLOBAL ID：200903016497599058

プラズマ装置

発明者： ▲徳▼島 正敏
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-041566
公開番号（公開出願番号）：特開平5-242997
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】【目的】 ECRプラズマ装置において、低ガス圧や低マイクロ波電力等の放電の開始しにくい条件下でも安定に放電を開始させる装置構造を提供する。【構成】 マイクロ波9が基板支持台7で反射されて形成する定在波10の腹11の位置がECRポイント16と重なり、ECRポイント16における電子は進行マイクロ波のみの場合の2倍のマイクロ波電界により加速され、ガス分子の電離に必要な高エネルギー電子が効率的に生成されて容易に放電する。

請求項（抜粋）：

磁場中を運動する電子とマイクロ波の電子サイクロトロン共鳴によりプラズマを生成するプラズマ装置において、マイクロ波を反射する材料からなる基板支持台を備え、放電開始前に、前記磁場の形成と前記マイクロ波の印加を行いながら前記基板支持台の位置が移動することを特徴とするプラズマ装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/302

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-107536
  
• 特開昭63-232299
  
• 特開平3-263799