画像処理検査方法および画像処理検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211174
公開番号（公開出願番号）：特開2001-034762
出願日： 1999年07月26日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】画像中に表面特性に起因したゴマ塩ノイズが多く含まれ、かつ、欠陥画像の濃淡差が小さい検査対象であっても、精度の良いエッジ要素を抽出可能な画像処理検査方法および画像処理検査装置を提供する。【解決手段】各画素の濃度勾配を求める濃度勾配算出部21と、各画素の濃度勾配の平均値を求める平均値算出部22と、各画素の濃度勾配の標準偏差を求める標準偏差算出部23と、平均値および標準偏差に基づいて、画像データの濃度の変化するエッジを判別するしきい値Tを決定するしきい値算出部24と、しきい値Tに基づいて画像データを2値化して欠陥を含むエッジ要素を抽出する2値化処理部25と、2値化された画像データを所定の大きさの複数の正方格子を有するメッシュ状のフィルタでスクリーニングしてエッジ要素に含まれるノイズ成分を除去するフィルタ部26とによって2値化画像を生成する。

請求項（抜粋）：

被検査体の表面の画像データを2値化処理し、当該2値化処理された画像データに基づいて被検査体の表面に存在する欠陥を抽出する画像処理検査方法であって、前記被検査体の表面の画像データの各画素の濃度勾配を求めるステップと、前記各画素の濃度勾配の平均値および標準偏差を求めるステップと、前記平均値および標準偏差に基づいて、前記画像データの濃度の変化するエッジを判別するためのしきい値を決定するステップと、前記しきい値に基づいて前記画像データを2値化して欠陥を含むエッジ要素を抽出するステップと、前記2値化された画像データを所定の大きさの複数の正方格子を有するメッシュ状のフィルタでスクリーニングして前記エッジ要素に含まれるノイズ成分を除去するステップと、を有し、前記スクリーニングされた画像データに基づいて被検査体の表面に存在する欠陥を抽出する画像処理検査方法。

IPC (3件)：

G06T 7/00 , G01B 11/30 , G01N 21/88

FI (5件)：

G06F 15/62 400 , G01B 11/30 A , G01N 21/88 J , G01N 21/88 Z , G06F 15/70 330 N

Fターム (89件)：

2F065AA12 , 2F065AA49 , 2F065BB05 , 2F065CC00 , 2F065DD06 , 2F065FF42 , 2F065FF66 , 2F065GG02 , 2F065GG17 , 2F065HH02 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ26 , 2F065LL49 , 2F065PP01 , 2F065PP13 , 2F065QQ00 , 2F065QQ03 , 2F065QQ07 , 2F065QQ08 , 2F065QQ13 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065QQ32 , 2F065QQ33 , 2F065QQ34 , 2F065QQ38 , 2F065QQ41 , 2F065QQ42 , 2F065QQ51 , 2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EC05 , 2G051ED08 , 2G051ED22 , 5B057AA01 , 5B057BA02 , 5B057BA19 , 5B057BA29 , 5B057BA30 , 5B057CA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB02 , 5B057CB06 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC03 , 5B057CE02 , 5B057CE06 , 5B057CE12 , 5B057CH08 , 5B057DA03 , 5B057DA08 , 5B057DA17 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB08 , 5B057DC05 , 5B057DC14 , 5B057DC17 , 5B057DC34 , 5B057DC36 , 5L096AA03 , 5L096AA07 , 5L096BA03 , 5L096BA20 , 5L096CA04 , 5L096EA05 , 5L096EA43 , 5L096FA06 , 5L096FA09 , 5L096FA14 , 5L096FA32 , 5L096FA69 , 5L096GA06 , 5L096GA15 , 5L096GA34 , 5L096GA51 , 5L096GA55

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