特許
J-GLOBAL ID：200903016506915634
力・加速度・磁気の検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-210320
公開番号（公開出願番号）：特開平11-101697
出願日： 1990年10月12日
公開日（公表日）： 1999年04月13日
要約：
【要約】【課題】 温度補償が不要な単純な構造の多次元センサを実現する。【解決手段】 装置筐体40内に、剛性をもった固定基板10と可撓性をもった変位基板20とを収容する。変位基板20の下面には錘りとして機能する作用体30が固定されている。変位基板20の上面には、X軸上に2枚の変位電極21,23が、Y軸上に2枚の変位電極(図示されていない)が、それぞれ形成され、固定基板10の下面には、各変位電極に対向する共通の固定電極11が形成されており、それぞれ対向する電極によって4組の容量素子が形成される。X軸方向の加速度は、X軸上に配された2組の容量素子の容量値の差により検出され、Y軸方向の加速度は、Y軸上に配された2組の容量素子の容量値の差により検出される。
請求項（抜粋）：
互いに直交する第1の軸および第2の軸を定義し、前記第1の軸方向に作用した力および前記第2の軸方向に作用した力をそれぞれ独立して検出する機能をもった力検出装置であって、装置筐体に固定された固定要素と、前記固定要素に可撓性部分を介して接続され、外部から作用した前記第1の軸方向の力もしくは前記第2の軸方向の力に基いて、前記固定要素に対して前記第1の軸方向もしくは前記第2の軸方向に変位を生じる変位要素と、前記固定要素上に形成された第1の固定電極、第2の固定電極、第3の固定電極、第4の固定電極と、前記変位要素上に形成された第1の変位電極、第2の変位電極、第3の変位電極、第4の変位電極と、を備え、前記第1の固定電極と前記第1の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第1の固定電極と前記第1の変位電極とによって第1の容量素子が形成され、前記第2の固定電極と前記第2の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第2の固定電極と前記第2の変位電極とによって第2の容量素子が形成され、前記第3の固定電極と前記第3の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第3の固定電極と前記第3の変位電極とによって第3の容量素子が形成され、前記第4の固定電極と前記第4の変位電極とは互いに対向する位置に配置され、前記第4の固定電極と前記第4の変位電極とによって第4の容量素子が形成され、かつ、前記変位要素が前記第1の軸の正方向に変位した場合、前記第1の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第2の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第1の軸の負方向に変位した場合、前記第1の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第2の容量素子の電極間距離が減少し、前記変位要素が前記第2の軸の正方向に変位した場合、前記第3の容量素子の電極間距離が減少するとともに前記第4の容量素子の電極間距離が増加し、前記変位要素が前記第2の軸の負方向に変位した場合、前記第3の容量素子の電極間距離が増加するとともに前記第4の容量素子の電極間距離が減少するように、前記各固定電極および前記各変位電極が配置されており、前記第1の容量素子の容量値と前記第2の容量素子の容量値との差によって、前記第1の軸方向に作用した力を検出し、前記第3の容量素子の容量値と前記第4の容量素子の容量値との差によって、前記第2の軸方向に作用した力を検出するように構成したことを特徴とする力検出装置。
IPC (5件)：
G01L 1/14
, G01L 5/16
, G01L 9/12
, G01P 15/125
, G01R 33/02
G01L 1/14 A
, G01L 5/16
, G01L 9/12
, G01P 15/125
, G01R 33/02 K
