特許

J-GLOBAL ID：200903016512549666

符号化研磨製品を用いた研磨加工装置および方法

発明者： チャールズ・アール・クメス ,  マイケル・ジェイ・ムイレンバーグ ,  ゲイリー・ビー・フォーズバーグ ,  ロバート・ジェイ・ストライフェル ,  ダニエル・ビー・ペンダーグラス・ジュニア
出願人/特許権者： スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-621117
公開番号（公開出願番号）：特表2003-500228
出願日： 1999年09月20日
公開日（公表日）： 2003年01月07日
要約：

【要約】物品(24)を研磨加工する装置(20)および方法は、様々な種類の情報を表す機械認識可能なパターンを備えた研磨製品(30)の使用を含む。パターンは、研磨製品が物品に対して移動する間に読み取られ、物品(24)に対する研磨製品(30)の運動を制御するために使用される。パターンは、1つまたはそれ以上の機械認識可能な電気的特徴、光学的特徴、形状的特徴、または磁気的特徴を含んでも良い。パターンを読み取るステップは、研磨製品上に提供された機械認識可能なパターンを1つまたはそれ以上の電気的、光学的、機械的、または磁気的に読み取るステップを含む。パターンは、1つまたはそれ以上のインディシア、凸所、凹所、孔、空隙、色または顔料変化、バーコード、磁気的遷移、または周期的マーキングを含んでも良い。パターンは、1つまたはそれ以上の割出し情報、サーボ情報、アライメント情報または研磨製品識別情報を含んでも良い。研磨製品運動の閉ループサーボ制御が、サーボ/割出しパターン情報を使用して実施されても良い。研磨製品は、可動パッドおよび研磨スラリから構成されても良い。パッド(30)は、パッド(30)と研磨スラリとが物品(24)と研磨接触するように物品(24)に対して制御的に移動されても良い。パッド上に設けられたパターンは、洗浄工程に続いて読み取られても良い。情報システムは、研磨製品パターン情報の使用から、一部、導かれた様々なタイプのデータを記憶するために使用されても良い。記憶されたデータは、様々な識別、追跡、会計、在庫、取扱、および統計的目的に使用されても良い。

請求項（抜粋）：

物品を研磨加工する方法であって、 機械認識可能なパターンを具備する研磨製品を準備するステップと、 前記物品に関して前記研磨製品を移動するステップと、 前記機械認識可能なパターンを読み取るステップと、 前記機械認識可能なパターンを使用して前記物品に関して前記研磨製品の運動を制御するステップとを具備する、方法。

IPC (4件)：

B24B 49/10 ,  B24B 37/04 ,  B24B 49/12 ,  H01L 21/304 622

FI (4件)：

B24B 49/10 ,  B24B 37/04 Z ,  B24B 49/12 ,  H01L 21/304 622 R

Fターム (19件)：

3C034AA08 ,  3C034AA13 ,  3C034BB92 ,  3C034BB93 ,  3C034DD20 ,  3C058AA05 ,  3C058AA06 ,  3C058AA09 ,  3C058AC02 ,  3C058BB02 ,  3C058BB06 ,  3C058BB08 ,  3C058BB09 ,  3C058BC03 ,  3C058CA04 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17