特許
J-GLOBAL ID:200903016530111384
オフセット調整方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-099177
公開番号(公開出願番号):特開平10-288538
出願日: 1997年04月16日
公開日(公表日): 1998年10月27日
要約:
【要約】【課題】 簡単な回路で精度の高いオフセット調整方法を提供することを目的とする。【解決手段】 オフセット調整用の90°位相が異なる2つの信号を検出し、前記検出した信号のどちらか一方の値が0である時、他方の検出信号の最大値および最小値に基づいてオフセット量を算出し、前記オフセット量に基づいてオフセット調整を行うことを特徴としている。90°位相が異なる2つの信号として正弦波信号と余弦波信号を用いる。
請求項(抜粋):
オフセット調整用の90°位相が異なる2つの信号を検出する工程と、前記検出した信号のどちらか一方の値が0である時、他方の検出信号の最大値および最小値に基づいてオフセット量を算出する工程と、前記オフセット量に基づいてオフセット調整を行う工程と、を具備することを特徴とするオフセット調整方法。
IPC (3件):
G01D 5/245 102
, G01D 5/36
, H01L 21/68
FI (3件):
G01D 5/245 102 D
, G01D 5/36 U
, H01L 21/68 A
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