特許

J-GLOBAL ID：200903016535050146

膜厚測定方法

発明者： 堀江 正浩
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282188
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122824
出願日： 1996年10月24日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 被測定試料に形成された薄膜の光学定数が変化等する場合であっても、変化に対応させた補正光学定数に基づいて膜厚を正確に測定できる。【解決手段】 複数に分割された部分波長領域ごとに実測反射比率と理論反射比率とが一致するように光学定数を増減し(ステップS503)、これに基づいて波長とともに連続的に変化する補正光学定数を定め(ステップS506)、この補正光学定数に基づいて透光膜の理論反射比率が実測反射比率に一致するように透光膜の膜厚を再度決定するので、被測定試料に形成された薄膜の光学定数が変化した場合であっても、変化に対応させた補正光学定数に基づいて膜厚を正確に測定できる。

請求項（抜粋）：

基板上に透光膜が形成された被測定試料の前記透光膜の膜厚を求める膜厚測定方法であって、前記被測定試料で反射された光を分光して実測反射率を求める工程と、予め準備した基準光学定数に基づいて、前記透光膜の理論反射率が前記実測反射率に一致するように、前記透光膜の膜厚を決定する工程と、前記基準光学定数に基づいて決定した膜厚に対し、複数に分割された部分波長領域ごとに実測反射率と理論反射率とが一致するように光学定数を増減する工程と、前記部分波長領域ごとの前記光学定数の増減に基づいて、波長とともに連続的に変化する補正光学定数を定める工程と、前記補正光学定数に基づいて、前記透光膜の理論反射率が前記実測反射率に一致するように、前記透光膜の膜厚を再度決定する工程とを備えることを特徴とする膜厚測定方法。