特許

J-GLOBAL ID：200903016538362157

搬送容器

発明者： 内田 史彦 ,  松井 都 ,  河村 喜雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-262387
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092904
出願日： 1996年09月11日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 外部操作によりウエハを出し入れできる搬送容器を提供する。【解決手段】 搬送容器10は、ゲート14で開閉される出し入れ口13を有しウエハ1を収容する収容室12が形成された本体11と、収容室に出し入れ口と交差方向に敷設された第1ガイド15と、第1ガイドに摺動自在に支承された第2ガイド16と、ウエハホルダ19を支持し第2ガイドに摺動自在に支承されたスライダ17と、収容室に回動自在に支承されて外部操作される回動軸22と、回動軸に固定されたレバー24とを備えており、レバーの自由端部に開設のガイド孔25にスライダに固定のガイドピン20が摺動自在に支承されている。【効果】 外部操作でレバーが回動されると、ガイドピン、第2ガイドおよび第1ガイドでスライダが直線運動され、ウエハは収容室に対し進退されるため、ウエハは手を触れずに出し入れできる。ゲートで出し入れ口は密閉できる。

請求項（抜粋）：

ゲートによって開閉される出し入れ口を有し被収容物品を収容する収容室が形成された本体と、前記収容室に前記出し入れ口に交差する方向に敷設された第1ガイドと、前記第1ガイドに摺動自在に支承された第2ガイドと、前記第2ガイドに摺動自在に支承されて前記被収容物品を保持するスライダと、前記収容室に回動自在に支承されて外部から操作される回動軸と、前記回動軸に固定され前記スライダとガイドピンを介して摺動自在に係合するレバーとを備えていることを特徴とする搬送容器。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/07 ,  G01N 1/00 101

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 E ,  B65G 49/07 L ,  G01N 1/00 101 C ,  B65D 85/38 D