特許
J-GLOBAL ID：200903016544715223
プラズマエッチング用電極板及び治具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 雅人 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-179256
公開番号（公開出願番号）：特開平5-347278
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：
【要約】【目的】 従来技術の難点を解決し、高精度なエッチング加工を行うことができ、しかも耐久性に優れたプラズマエッチング用電極板を提供することを目的とする。【構成】 本発明のプラズマエッチング用電極板は、ポリカルボジイミド樹脂を原料として製造したガラス状炭素材からなることを特徴とするものである。ポリカルボジイミド樹脂を原料として製造したガラス状炭素材は気孔を全く乃至は殆ど含んでおらず、この極めて低い気孔率と、焼成後のポリカルボジイミド樹脂自体の強度により、優れた物性を示すものである。
請求項（抜粋）：
ポリカルボジイミド樹脂を原料として製造したガラス状炭素材からなることを特徴とするプラズマエッチング用電極板。
IPC (2件)：
引用特許：
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