電子部品製造用塗布液

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：阿形明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200892
公開番号（公開出願番号）：特開平7-057990
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【構成】 (A)ポリ酢酸ビニルけん化物、(B)フッ素系界面活性剤及び場合により(C)有機第四級アンモニウム化合物を含有する水溶液から成る電子部品製造用塗布液であって、(A)成分としてあらかじめイオン交換処理を施したものを用いるのが好ましい。【効果】塗膜性及び保存安定性が優れ、また液晶デバイスの製造に用いると平坦下層と絶縁膜層との間の空洞発生を防止することができる。

請求項（抜粋）：