特許
J-GLOBAL ID：200903016555742125
ガラス原盤もしくは円盤状の被駆動物のセンタリング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯村 雅俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-035024
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：
【要約】【課題】 センタリング装置全体の厳密な位置決め調整をしなくても良好なセンタリング精度を得ることができ、露光品質を向上させることが可能な、装置コストの低減が図れるガラス原盤などの被駆動物のセンタリング装置の提供。【解決手段】 外周部にテーパ部を有するターンテーブル1と、固定テーブル3と、回転中心軸方向に移動自在な移動テーブル10と、内周部にターンテーブル1のテーパ部と勘合するテーパ部を有し移動自在な移動リング7と、片端が回動支点5に連結され他端にガラス原盤などの被駆動物2の外径部を押圧可能な案内輪6を有するリンク4と、回転リング11とから構成され、移動テーブル10の上昇による移動リング7内周部のテーパ部とターンテーブル1外周部のテーパ部の勘合動作後、回転リング11の回動により案内輪6が同期してターンテーブル1の半径方向に同一量動いて被駆動物2の外径をターンテーブル1中心に対して押圧して固定位置を決定する。
請求項（抜粋）：
外周部に回転中心軸方向のテーパ部(a)を有する、ガラス原盤もしくは円盤状の被駆動物(2)を搭載して回転するためのターンテーブル(1)と、該ターンテーブル(1)の回転中心と略同心円状に装置基台に固定されて前記テーパ部(a)の外側に設けられた固定テーブル(3)と、該固定テーブル(3)上に設けられた、前記ターンテーブル(1)の回転中心軸方向に移動自在な移動テーブル(10)と、該移動テーブル(10)上に設けられた、内周部に前記ターンテーブル(1)の外周部のテーパ部(a)と勘合するテーパ部(b)を有し、前記ターンテーブル(1)の回転中心軸と直角な平面内において移動自在な移動リング(7)と、片端がターンテーブルの回転中心に関して等角度間隔で設けられた少なくとも3つの回動支点(5)に連結され、他端に前記ガラス原盤もしくは円盤状の被駆動物(2)の外径部を押圧可能な案内輪(6)を有し、前記回動支点(5)と前記案内輪(6)間の円弧部に溝部が設けられたリンク(4)と、前記溝部に勘合するピン(8)と、前記移動リング(7)と同心円状に回転自在な回転リング(11)とを有し、前記移動テーブル(10)の上昇による移動リング(7)内周部のテーパ部(b)とターンテーブル(1)外周部のテーパ部(a)の勘合動作後、前記回転リング(11)の回動により前記案内輪(6)が同期して、ターンテーブル(1)の半径方向に同一量動いて前記ガラス原盤もしくは円盤状の被駆動物(2)の外径を前記ターンテーブル(1)中心に対して押圧して固定位置を決定することを特徴とするガラス原盤もしくは円盤状の被駆動物のセンタリング装置。
Fターム (4件)：
5D121BB21
, 5D121BB38
, 5D121JJ01
, 5D121JJ09
