特許
J-GLOBAL ID：200903016562711448
光学部材の接着方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-173639
公開番号（公開出願番号）：特開2001-350072
出願日： 2000年06月09日
公開日（公表日）： 2001年12月21日
要約：
【要約】【課題】 面精度を維持しながら光学部材の接着効率を向上させる。【解決手段】 支持台11に光制御部12、露光装置13、検出部14を配置し、支持台11上に被接着部材Sを載置する。光制御部12のシャッタを全開にし、露光装置13から紫外線を照射し、検出部14で被接着部材Sを透過した紫外線を検出し、露光装置13による紫外線の照射を停止する。検出部14で得られた情報を基に、演算部15は光制御部12のシャッタ開放量を演算し、光制御部12の紫外線の透過量を小面積ごとに調整する。調整が終ると、被接着部材S上に紫外線硬化型接着剤Bを塗布し、光学部材Oを被接着部材S上に配置し、露光装置13を点灯し紫外線により接着剤Bを硬化させる。
請求項（抜粋）：
紫外線硬化型接着剤を用いて光学部材と被接着部材とを接着する方法において、光制御部を介して露光装置から照射された紫外線の接着面相当の照度分布を検出部により検出する工程と、得られた照度分布に関する情報に基づいて演算部において演算を行う工程と、該演算に基づいて照射された紫外線の通過量を部分的に制御して前記紫外線照度分布が一様となるように前記光制御部を動作させる工程と、前記被接着部材を前記光制御部上に載置する工程と、前記被接着部材又は前記光学部材に接着剤を塗布して重ね合わせ紫外線を照射して前記接着剤を硬化する工程とを有することを特徴とする光学部材の接着方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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