特許

J-GLOBAL ID：200903016566340576

真空バルブ

発明者： 上川路 徹
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-156395
公開番号（公開出願番号）：特開平5-006724
出願日： 1991年06月27日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】製作容易で絶縁性能と信頼性に優れた真空バルブを得ること。【構成】真空容器を、軸心に通電軸2A,2Bが貫通する中心穴4Aを設け、この中心穴4Aに封止金具5を挿着する。

請求項（抜粋）：

真空容器内で同心上に対向する一対の電極を有し、この電極が固定された通電軸の少なくとも一方を、一端が前記真空容器の一部、他端が前記通電軸に接合されたベローズにより前記真空容器内の高真空を保ちながら動作せしめ、前記電極を開閉して電路を遮断および閉成する真空バルブにおいて、前記真空容器を軸心部に前記通電軸が貫通する中心穴を有する有底円筒としたことを特徴とする真空バルブ。