振動型加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-071930
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257830
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】高精度で安価な加速度センサを提供する。【解決手段】マス部1と支持基台2の間に接続部35、36を介し、平行ビーム振動体3を点接続する。平行ビーム振動体3は、2枚のビーム38、39を端部31、32で接続されて構成されている。そして、端部31、32より平行ビーム振動体3を励振手段で励振すると共に、平行ビーム振動体3の振動数を検出手段で検出する。この振動数は、ビーム38、39間の間隔によって変化し、この間隔は加速度によるマス部1の変位によって変化する。従って、検出部による振動数の変化の検出によって、加速度を検出できる。加速度による変位を直接振動数の変化として高精度に検出でき、またセンサをSOI(Silicon on Insulator)基板等のエッチングにより容易に作成できる。

請求項（抜粋）：

支持基台と、この支持基台に第1接続部を介し実質的に点接続された一対の平行ビームと、これら平行ビームを両端でそれぞれ接続する端部を含む平行ビーム振動体と、この平行ビーム振動体に第2接続部を介し実質的に点接続され、所定の重量を有するマス部と、上記平行ビーム振動体の端部に対し、励振力を付与する励振手段と、平行ビーム振動体の振動数を検出する検出手段と、を有し、加速度を上記平行ビーム振動体における一対の平行ビームの間隔変化に起因した振動数の変化に基づいて検出することを特徴とする振動型加速度センサ。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-315057
特開昭61-178667
特表平3-501527

審査官引用 (3件)

特開平4-315057
特開昭61-178667
特表平3-501527

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