特許

J-GLOBAL ID：200903016576740840

位置検出方法、位置検出装置および露光装置

発明者： 古賀 慎一郎
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-388627
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188083
出願日： 2001年12月21日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：

【要約】【課題】 露光装置における複数のアライメント検出系のように、複数の検出系で同時に検出面上のマークを撮像してマークの位置(面内方向位置)を検出するために、最適なZ軸方向位置(検出系光軸方向位置)を求め、各検出系における検出精度を保つ。【解決手段】 検出物体上の1つまたは複数のマークを複数の検出系で同時に撮像しマークの位置を検出する際に、予め検出系の特性を示す値、例えば、1.検出物体をZ方向に移動した時の各検出系のマーク像のコントラスト変化、2.上記コントラスト変化と各検出系における照明光の変動や電気的なノイズ等の変動成分の比、を計測する。次に各検出系で上記特性が均等になるZ方向位置を求める。最後に、上で求めたZ方向の位置に検出物体を置きマーク位置を検出する。

請求項（抜粋）：

検出物体上の1つまたは複数のマークを複数の検出系で同時に撮像し前記マークの位置を検出する方法において、前記検出物体を前記検出系の光軸方向に移動した時の各検出系の特性を計測する検出系特性計測工程と、前記各検出系の特性が均等となる前記検出物体の光軸方向位置を算出する光軸方向位置算出工程と、該光軸方向位置算出工程で算出した前記光軸方向位置に前記検出物体を置いて前記マークの位置を検出する位置検出工程とを有することを特徴とするマーク位置検出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/22

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 526 A ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (29件)：

2F065AA06 ,  2F065AA07 ,  2F065AA20 ,  2F065AA35 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ31 ,  5F046AA28 ,  5F046BA04 ,  5F046DA14 ,  5F046DB01 ,  5F046DD06 ,  5F046EC03 ,  5F046ED03 ,  5F046FB20 ,  5F046FC04